產品詳情
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EBARA ESA200-CN
太陽能光伏電池片制造領域的PE-CVD的配套設施，最大抽速20000L/min.
| 無油干式機械真空泵（又簡稱干式機械泵）是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內無油或其他工作介質，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。 干式機械真空泵的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面： 1）太陽能光伏電池片制造領域的PE-CVD工藝的多晶硅制備工藝中； 2）觸摸屏制造領域的鍍膜工藝； 3）液晶面板制造的成膜，刻蝕等工藝； 4）建筑以及其他玻璃鍍膜工藝； 5）用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。  |
