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Ebara ESA150
太陽能光伏電池片制造領域的PE-CVD的配套設施,最大抽速15000L/min.
無油干式機械真空泵(又簡稱干式機械泵)是指泵能從大氣壓力下開始抽氣,又能將被抽氣體直接排到大氣中去,泵腔內無油或其他工作介質,而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。
干式機械真空泵的應用是廣泛的,主要有以下幾個方面:
1)太陽能光伏電池片制造領域的PE-CVD工藝的多晶硅制備工藝中;
2)觸摸屏制造領域的鍍膜工藝;
3)液晶面板制造的成膜,刻蝕等工藝;
4)建筑以及其他玻璃鍍膜工藝;
5)用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。